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半导体用臭氧水去除有机物质臭氧浓度需要达到多少
使用臭氧水可去除的物质以及所需臭氧的浓度
利用臭氧的强氧化能力，可以实现分解并去除大量的杂质。
根据杂质的形状与数量的不同，所需浓度也将有所变化，请参考下图数据。
此外，如将稀氢氟酸与臭氧水同时使用，去除杂质的效果将倍增。
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